[기계전공세미나] HAR(High Aspect Ratio)-MEMS and Its Applications

1. 제 목 : HAR(High Aspect Ratio)-MEMS and Its Applications

2. 연 사 : 이승섭 교수(KAIST)

3. 일 시 : 2007년 5월 11일(금) 16:30-17:30

4. 장 소 : 301동 102호

5. 내 용 :
MEMS는 Micro Electro Mechanical Systems의 약어로, 1987년 미국 버클리
대학에서 발표된 머리카락 굵기의 극미세 모터를 효시로 하고 있다. 당시 실리콘 기판 위에
반도체 공정을 이용해 제작한 극미세 모터는 분 당 수천 rpm으로 회전하면서 새로운 연구
분야를 열었다. 그 후, 선진 각국에서는 국가적 사업으로 다양한 연구투자를 수행하여,
오늘날 마이크로/나노 단위의 극미세 기계-전자 시스템의 제작기술로 자리매김하였으며,
2000년 이후에는 바이오 분야와 접목되어 전혀 새로운 분야로 그 연구영역을 넓히고 있다.
본 연구실에서는 지난 10년 간 Piezo-MEMS, HAR-MEMS, Bio-MEMS,
Microfluidics 분야에 연구를 집중하였으며,  이로 인해 매우 다양한 연구결과와 그를
바탕으로 한 기술이전 및 사업화에 매진하고 있다.
본 발표에서는 그 가운데에서 특히 HAR-MEMS 분야와 Microfluidics의 일부 결과에
대해서 집중적으로 발표할 예정이며, 연구 테마는 다음과 같다.
- 극미세 레이져 반사체 (Micro 3-Facet Laser Reflector)
- 극미세 액튜에이터 집적형 X-선 마스크 (Micro Actuator Embedded Deep X-ray
Mask)
- 극미세 렌즈 (Microlenses with Modified DXL Process)
- 극미세 바늘 (Micro Needle Array)
- 극미세 유체 혼합기 I (Chaotic Micro Mixer)
-극미세 유체 혼합기 II (Multi-laminating Micro Mixer)

6. 연사약력 :
1984 서울대 기계설계학과 졸업 (학사)
1995 UC, Berkeley 기계공학과(박사)
1996-1997 삼성종합기술원 수석연구원
1997-2003 포항공대 기계공학과 조, 부교수
2003- 현재 KAIST 부, 정교수

7. 문 의 : 기계항공공학부 이정훈 교수(☏ 880-9104)